Auftragsanalysen - Chemische Zusammensetzung

Zerstörungsfreie spektroskopische Methoden zur Untersuchung von oberflächennahen Schichten / chemische Zusammensetzung / Tiefenprofile bis zur atomaren Skala:

• Rutherford-Rückstreu-Spektrometrie  (RBS)
• Energiedispersive Röntgenspektroskopie (EDX)
• Röntgen-Photoelektronenspektroskopie (XPS, ESCA, UPS)
• Elektronen-Energieverlustspektroskopie (EELS)
• Auger-Elektronen-Spektroskopie (AES)
• Sekundärionen-Massenspektrometrie –(SIMS)
• Spektroskopische Untersuchung von Materialeigenschaften, bei welcher Licht inelastisch an Molekülen oder Festkörpern gestreut wird (Raman-Spektroskopie)